干式真空泵主要在半導體工業、化學工業、薄膜工業已應用于發展。國外干式真空泵市場正處于蓬勃發展的階段。例如，在日本，半導體行業已經使用干式真空泵代替油封機械泵，而歐洲和美國超過45%的半導體行業使用干式真空泵代替油封機械泵，這比較大的提高了產品的性能和質量。過去，半導體行業的油封機械泵使用惰性氟油潤滑，以防止腐蝕性氣體侵蝕油，但氟油非常昂貴，維護成本也很高。因此，干式真空泵逐漸的在各行各業中發展起來。

　　采用干式真空泵，泵內不僅無潤滑油，而且無廢液處理問題。但泵腔內無油，使泵腔內間隙無法保持密封，也失去了溫度控制的傳熱介質，對干式真空泵帶來了巨大挑戰。部分真空泵由兩臺電機同步驅動，確保泵運行時無部件接觸，無密封設計，確保無泄漏，滿足新的ATEX防爆規定的要求。由于能保持最小的內部溫度，可控制泵氣體的冷凝和腐蝕可能造成的損壞效應，易于輸送腐蝕介質，安全輸送易燃易爆氣體。

　　干式真空泵在半導體行業的成功應用也鼓勵干泵制造商將干泵引入化工行業。雖然干泵價格昂貴，但運行成本較低，特別是無廢液處理問題，對環境和健康非常有益。目前，有許多類型的干泵，包括渦旋泵、隔膜泵、干旋片泵、羅茨干泵、爪干泵和螺桿真空泵。羅茨干泵、爪干泵和螺桿真空泵在化工行業的應用中占主導地位。

　　在制藥行業的溶劑回收中，由羅茨泵和螺桿真空泵組成的干燥真空系統可以在排氣側冷凝干燥過程中的有機溶劑，實現溶劑的回收。由于干式真空泵腔內沒有其他工藝介質，節能環保，無廢液處理問題，溶劑可全部回收。因此，干式真空泵已成為該應用領域的較佳選擇。

　　在石化行業汽油蒸汽回收方面，干式真空泵是汽油蒸汽回收裝置中的關鍵設備。抽氣為揮發性汽油蒸汽，主要成分為C4.C5.C6等汽油蒸汽。油氣回收裝置采用活性吸附，實現油氣中烴類成分與空氣的分離，達到排放標準。活性炭的再生是通過真空解吸來實現的，以達到回收利用的目的。真空油氣通過汽油噴霧吸收將油氣轉化為汽油并回收利用。

　　隨著我國對環境保護的日益重視，國家或行業制定了各種法律、標準和規定，嚴格限制汽油和蒸汽的排放，要求儲油庫和加油站必須增加油氣回收裝置，并符合排放濃度為25g/m3、油氣處理效率為95%的標準。

　　因此，干式真空泵在各行各業的發展前景非常長遠。以上就是淄博沃德氣體設備有限公司小編整理的干式真空泵的工作原理與目前的市場前景的相關內容，希望對您有所幫助，淄博沃德期待您的來電與合作。